попробуйте в startProcess установить параметр debugChildren=TRUE.
При старте дочернего процесса при загрузке целевого модуля должен срабатать обработчик onModuleLoad еще раз и в нем можно будет поставить нужные брейкпойнты
При старте дочернего процесса при загрузке целевого модуля должен срабатать обработчик onModuleLoad еще раз и в нем можно будет поставить нужные брейкпойнты